Transfer Devices, Inc. (TDI), Santa Clara, CA 95054;
molecular transfer lithography; semiconductor lithography; dissolvable templates; polyvinyl alcohol;
机译:纳米压印光刻:模板,压印和晶圆图案转移
机译:通过全晶圆和卷对卷步进和闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:精确制备晶片截面的技术及其在聚甲基丙烯酸甲酯抗蚀剂的电子束光刻中的应用
机译:在200mm晶圆上在25nm下自动化分子转移光刻,包括在可溶解模板上的抗蚀剂的现场远程涂层
机译:用于高级光刻的分子抗蚀剂-设计,合成,表征和模拟。
机译:通过全晶圆和卷对卷分步闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:通过全晶圆和卷对卷分步闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层