integrated circuit measurement; integrated circuit yield; intelligent sensors; microsensors; process control; semiconductor technology; stress measurement; advanced process control; electronic device degradation; embedded mechanical stress sensor; embedded stress;
机译:用于应变技术过程控制的嵌入式应力传感器
机译:从应力传感器到嵌入式热机械传感器的后端
机译:基于轮椅嵌入式传感器和高级信号处理的生理参数测量
机译:嵌入式机械应力传感器,用于高级过程控制
机译:将光纤传感器嵌入铸模中以进行智能制造的先进工艺
机译:具有加密处理器的嵌入式传感器节点微控制器
机译:传感器及其真实的过程控制应用于先进变形处理
机译:采用动态机械分析仪和应力控制流变仪进行先进材料的力学表征。