Fraunhofer-Institut fuer Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP), Dresden, Germany;
rnFraunhofer-Institut fuer Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP), Dresden, Germany;
rnFraunhofer-Institut fuer Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP), Dresden, Germany;
rnBluetec GmbH Co. KG, Trendelburg, Germany;
机译:HMDSO / O-2诱导的远程等离子体沉积的等离子体聚合有机硅薄膜的可见光致发光:氧分数的影响
机译:用PECVD法沉积的等离子聚合薄膜的物理和光学性质
机译:微波放电合成等离子体聚合的六甲基二硅氧烷(HMDSO)薄膜
机译:通过磁控辅助PECVD工艺从六甲基二硅氧烷(HMDSO)沉积的血浆聚合薄膜的性质
机译:直流等离子体聚合吡咯和六甲基二硅氧烷薄膜的表征
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:使用直流等离子体增强化学气相沉积(DC-PECVD)技术沉积的氢化非晶碳(a-C:H)薄膜的结构和光学性质