Institute for Laser Physics Vavilov State Optical Institute, St-Petersburg, Russia;
Institute for Laser Physics Vavilov State Optical Institute, St-Petersburg, Russia;
Ioffe Physic-Technical Institute RAS, St-Petersburg, Russia;
机译:高NA EUV光刻中的波导效应:将EUV光刻扩展到4 nm节点的关键
机译:EUV光刻:高NA EUV光学器件正在发展中
机译:IMEC演示了具有高NA EUV干扰光刻的20nm间距线/空间抗蚀剂成像
机译:高NA EUV投影镜头,带中央遮蔽
机译:投影显像管液镜冷却系统的热设计评估。
机译:使用衍射可调镜头的高Na双光子单细胞成像远程聚焦
机译:高NA EUV波前计量的侧剪剪切干涉测量
机译:sEmaTECH High-Na光化学光罩检查项目(sHaRp)EUV面罩成像显微镜。