Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, D-38106, Germany;
Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, D-38106, Germany;
Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, D-38106, Germany;
Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, D-38106, Germany;
Institute of Joining and Welding, Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, 38106, Germany;
Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, D-38106, Germany;
Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, D-38106, Germany;
Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, D-38106, Germany;
Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, D-38106, Germany;
Silicon; Fabrication; Lithography; Nanowires; Surface morphology; Etching;
机译:MEMS压阻自致动硅微悬臂梁上ZnO纳米棒和壳聚糖@ZnO纳米棒的制备
机译:MEMS压阻硅微悬臂梁上ZnO纳米棒的制备,用于环境监测
机译:金属辅助化学刻蚀和纳米球光刻技术生长的介孔硅纳米柱的演化机理:拉曼光谱与红色光致发光的关系
机译:硅纳米粉与ZnO Nanorods的压阻式微电子纳米光刻
机译:硅压阻微悬臂梁,用于电位传感
机译:使用纳米压印光刻技术在硅基板上选择性图案化ZnO纳米棒
机译:带有SAM改性ZnO-Nanorods的压阻式微电子@ Silicon-Nanopillars用于室温零件 - 每亿号NO2检测
机译:用于非制冷红外探测技术的压阻式微悬臂梁优化