Technology RD, Semiconductor Manufacturing International Corp., Pudong New Area, Shanghai, China 201203;
AIO etch; Cu exposure; Depth loading; ESL opening; Partial via etch; Polymer residue;
机译:解决高级CMOS技术对铜/低k $电介质TDDB的可靠性挑战
机译:先进CMOS技术的Cu /低k介电TDDB可靠性问题
机译:基于低K / Cu CMOS的SoC技术,具有115GHz f {sub} T,100GHz f {sub}(max),低噪声80nm RF CMOS,高Q MiM电容器和螺旋Cu电感器
机译:高级CMOS技术AIO蚀刻中的CU暴露效应
机译:电荷陷阱晶体管(CTT):将逻辑晶体管转换为高级高k /金属门CMOS技术的嵌入式非易失性存储器
机译:具有嵌入式校准方案的动态pH传感器采用先进的CMOS FinFET技术
机译:基于0.13 m低铜CmOs逻辑的2.1 Gb高数据速率读通道技术