MAPPER Lithography B.V., Computerlaan 15, 2628 XK Delft, The Netherlands;
Brightness; Cathodes; Current measurement; Electron beams; Electron sources; Lithography; Throughput;
机译:反射电子束光刻:使用反射电子束光刻概念的无掩模电子束直接写入光刻方法
机译:半路线图增加了印记,无掩模光刻
机译:使用355 nm紫外光源的无掩模激光直接成像光刻技术在柔性精细模具的制造中
机译:用于映射器掩模光刻的电子源
机译:负电子亲和性光电阴极,用作电子束光刻和显微镜检查的高性能电子源。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:无掩模光刻微通道放大器中电子放大的3D微观模型
机译:使用和无源光源阵列以及聚焦元件阵列的无掩模光刻系统和方法。