National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan;
机译:用于μc-Si/ c-Si异质结太阳能电池应用的热线CVD沉积n型μc-Si膜
机译:rf偏置以抑制MU C-Si:H沉积的膜膜的后氧化,使用平面RF谐振天线沉积电感耦合等离子体
机译:p型c-Si太阳能电池表面钝化的常压等离子体液体沉积沉积的带负电SiOx膜的电子性能
机译:等离子体沉积μC-Si:H线波导
机译:圆柱形线阵列和X夹层等离子体的前体等离子体在1-1.7 MA电流下的辐射以及fs激光产生等离子体的显着光谱特征。
机译:硅丝波导上的硅基缓冲器周期光栅条辐射光学感测的数值模拟
机译:等离子体辅助原子层沉积Al2O3钝化的c-Si衬底的超低表面重组