Sandia National Laboratories P. O. Box 5800 Albuquerque, NM 87185-1081;
MEMS; microsystems; pressure sensor; diaphragm;
机译:膜片挠度的分析和仿真评估及其在触摸模式MEMS电容式压力传感器中的应用
机译:MEMS颅内压力传感器应用的矩形石墨烯膜片载荷偏转分析
机译:具有光刻定义的硅膜片的表面微加工电容式压差传感器
机译:隔膜偏转的新分析解决方案及其在表面微机械压力传感器的应用
机译:光纤压力传感器膜片的热机械设计研究。
机译:适用于高温应用的无隔膜光纤法布里-珀罗干涉式气压传感器
机译:极端环境下3C SiC和Si基压力传感器膜片的机械变形和最大应力的比较