【24h】

Development of GaAs Pseudomorphic HEMTs At W-Band

机译:W波段GaAs拟态HEMT的开发

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摘要

Development of GaAs pseudomorphic HEMTs (PHEMTs) at W- band without using electron beam direct writing is described and obtained result is reported. The maximum oscillation frequency for the developed device is over 150 GHz . This is the first GaAs PHEMT at W-band fabricated by conventional ultra-violet photolithograph technique.
机译:描述了在不使用电子束直接写入的情况下在W波段GaAs伪晶HEMT(PHEMT)的开发,并报告了获得的结果。所开发设备的最大振荡频率超过150 GHz。这是通过传统的紫外光刻技术在W波段制造的第一款GaAs PHEMT。

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