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孟杰; 张琨; 赵帅; 曹子谏; 靳琳; 孙小强; 张大明;
中国光学学会;
反应离子刻蚀法; 感应耦合等离子刻蚀法; 聚合物光波导器件; 波导形貌; 工艺优化;
机译:使用电感耦合等离子体刻蚀制备低损耗聚合物反脊形波导
机译:新型固态含Eu(III)的金属超分子聚合物:形貌控制和光波导特性
机译:化学机械抛光改善高灵敏度光学生物传感器聚合物波导的表面形貌
机译:通过干法等离子体刻蚀工艺制备的光电基板的局部形貌
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:高性能离子聚合物金属的大规模制备原位等离子体刻蚀和磁控管复合柔性传感器溅镀
机译:基于等离子体刻蚀的有机单层胶体晶体的形貌和结构控制及其在有序金纳米结构阵列制备中的应用
机译:表面形貌对非均匀地壳波导中Lg波传播的影响
机译:聚合物光波导的形成材料,聚合物光波导及聚合物光波导的制造方法
机译:聚合物光波导形成材料装料,聚合物光波导和聚合物光波导的制造方法
机译:形成聚合物光学波导的材料,聚合物光学波导和制造聚合物光学波导的方法
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