Fabrication of low loss polymer inverse ridge waveguide using inductively coupled plasma etching

著录项

• 来源
  《中国光学快报：英文版》 |2012年第b06期|P.174-177|共4页
• 作者

  孙小强; 张琨; 陈长鸣; 李晓东; 王菲; 张大明;

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• 作者单位

  State;

  Key;

  Laboratory;

  on;

  Integrated;

  Optoelectronics,;

  Jilin;

  University,;

  Changchun;

  130012,;

  China;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 干法腐蚀工艺;
• 关键词

  聚合物溶液; 电感耦合; 等离子刻蚀; 甲基丙烯酸甲酯; 脊波导; 低损耗; 扫描电子显微镜; 表面粗糙度;

  机译：聚合物溶液;电感耦合;等离子刻蚀;甲基丙烯酸甲酯;脊波导;低损耗;扫描电子显微镜;表面粗糙度;