常压微波等离子体射流的仿真与实验

摘要

介绍了一台低成本稳定的常压微波等离子体射流装置，给出了该设备组成以及谐振腔的构造，数值求解了设备中矩形TE103谐振腔中的电磁场分布，应用有限元模拟分析软件HFSS对谐振腔及喷嘴尖端的电场分布进行了仿真，在此基础上对装置进行调节，并进行了氩气的放电实验研究，实验的结果证明了模拟的正确性和装置的有效性，为设计高效微波等离子体炬装置提供了理论依据。