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Al2O3微流道的微注浆成形研究

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本文以Al2O3微流道为例,介绍了一种陶瓷微注浆成形的新方法.首先用光刻蚀的表面具有微结构的硅片作为模板,用软刻蚀技术制备PDMS弹性模.通过加入聚丙烯酸铵(NH4PAA)作为分散剂制备出高固相含量低粘度的Al2O3水基浆料,采用微注浆成形和转移微模塑方法制备了Al2O3微流道生坯.经1600℃自由烧结1h后,微结构完整,烧结体达到理论密度的96％,线性收缩率为20％.

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来源
《中国空间科学学会空间材料专业委员会2012学术交流会议》|2012年|15-20|共6页
会议地点武汉
作者
SU Bo; 苏博; WU You-zhi; 吴有智; MENG Jun-hu; 孟军虎;
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作者单位

中国空间科学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺及设备;
关键词
电子器件; 氧化铝微流道; 陶瓷微注浆成形; 软刻蚀技术;
入库时间 2022-08-17 11:04:34

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