碳化硅薄膜在低辐射镀膜玻璃中的应用

摘要

本文简述目前碳化硅材料在镀膜领域尤其是低辐射膜层(Low-E)部分的应用,碳化硅膜层的特性,目前使用过程中存在的问题,提出解决办法及思路.用碳化硅靶材替代目前使用的硅铝靶，玻璃光学性能变化很小，热学性能在金属层不变的情况下变化很小.SiC镀膜玻璃其抗机械划伤能力远高于现有的产品。试验表明，本技术方案的产品耐摩擦能力是普通产品的20倍，在研磨机上研磨2000转，颜色变化△E<3，远远大于现行标准50转、颜色变化△E<4。因此其实用性非常高，而且更换简单快捷，对其他性能几乎没有影响。