掺钇氧化锌在低辐射镀膜玻璃中的应用

摘要

通过真空磁控溅射的方法在玻璃基片上制备含有YZO的低辐射镀膜玻璃.研究了同等制备条件和膜层厚度时,YZO和AZO作为透明导电介质层时,对整个膜系透过率和稳定性的影响,并对使用过程中YZO靶材的稳定性进行评估.实验结果表明,YZO膜层平整度较好,可以作为Ag的打底层进行使用.同结构同厚度的膜层结构中,以YZO作为透明介质层,其可见光透过率比AZO作为介质层高约5％.YZO靶材在使用过程中较为稳定,不易出现结瘤、放电及掉渣等不良现象.