采用浮法在线AP-MOCVD法制备高雾度透明导电玻璃的研究

摘要

采用常压有机金属化合物化学气相沉积(AP-MOCVD)法,在浮法玻璃生产线上制备了绒面透明导电玻璃,通过控制反应物浓度及配比成功实现对表面形貌的调控,雾度值随表面形貌而变化.采用XRD研究了薄膜的结构和择优取向,采用FESEM、AFM对表面形貌进行了观察,采用紫外可见光分光光度计和四点探针法分析光学和电学性能.结果表明,雾度值与表面形貌密切相关,而表面形貌与膜厚、晶粒尺寸、晶粒的择优取向有关,通过改变工艺参数,可以实现对雾度和光电性能的调控.雾度值随晶粒尺寸和膜厚的增加而提高,但光学和电学性能有所下降.