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利用红外光谱仪测定薄膜折射率

摘要

本文介绍利用红外光谱仪测量薄膜红外波段折射率的方法.在红外光线透过薄膜时,发生等倾干涉,这将导致红外吸收谱基线的波动.通过测量红外透射谱基线波动规律,根据薄膜干涉原理计算已知厚度薄膜的折射率.

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