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第一章绪论
1.1.光学薄膜概述
1.2光学薄膜的应用
1.2.1液晶显示技术中的光学薄膜
1.2.2光通信中的光学薄膜
1.3新型光学薄膜材料
1.3.1渐变折射率薄膜材料
1.3.2透明导电薄膜材料
1.4光学薄膜制备工艺
1.4.1真空蒸发镀膜
1.4.2溅射镀膜
1.5研究内容介绍
参考文献
第二章SiOx渐变折射率材料的反应磁控溅射工艺研究及SiOx/SiO2多层膜红外滤波片光学薄膜器件的制备
2.1引言
2.2样品的制备和测试
2.2.1.ASC-800磁控溅射镀膜设备介绍
2.2.2实验方法和样品测量分析手段
2.3结果与讨论
2.3.1硅氧化物薄膜的结晶性能,微结构与成分分析
2.3.2硅氧化物薄膜光学性质与沉积速率
2.3.3用硅氧化物薄膜材料制备SiOx/SiO2多层膜红外滤波片实例
2.4本章小结
参考文献
第三章用SiOx制备渐变折射率Rugate FiIter的理论及工艺研究
3.1 Rugate filter概述
3.2对Rugate flter设计光谱特性的理论优化
3.2.1 Rugate filter的反射带宽度及干涉旁瓣的起因分析
3.2.2通过对折射率振幅的调制抑制rugate filter的干涉旁瓣
3.2.3通过引入匹配层抑制Rugate Filter的干涉旁瓣
3.3渐变折射率SiOx rugate filter的制备结果与讨论
3.3.1具有渐变折射率分布膜层的膜系设计与制备
3.3.2简单折射率正弦周期分布rugate filter的制备
3.3.3有折射率振幅调制和外部介质匹配层的rugate filter
3.4本章小结
参考文献
第四章用自由基辅助磁控溅射法制备ZnO透明导电薄膜过程中的反溅射现象研究
4.1引言
4.2样品的制备与测试
4.2.1 RAS-1100C自由基辅助溅射镀膜设备介绍
4.2.2实验方法和样品测量分析手段
4.2.3溅射损失率定义及经验公式的获得
4.3不导入O2气条件下金属Zn膜的溅射损失
4.3.1固定Ar气流速,改变溅射功率沉积的金属Zn膜
4.3.2固定溅射功率,改变Ar气流速沉积的金属Zn膜
4.3.3对于金属Zn膜溅射损失的讨论
4.4导入O2气条件下制备ZnO膜的溅射损失与反溅射
4.4.1固定气体流速,改变溅射功率沉积ZnOx膜
4.4.2固定溅射功率,改变溅射气体流速沉积ZnOx膜
4.4.3使用Zn和Al靶同时溅射制备ZnO:Al的溅射损失
4.4.4.关于反溅射机制的讨论
4.5本章小结
参考文献
攻读学位期间完成的论文情况
致谢