延迟线型声表面波气敏传感器匹配电路研究进展

摘要

若要充分发挥延迟线型声表面波传感器的高精度、多参数敏感性、微型化和低功耗等优势,对匹配电路进行合理的设计,这是尤为关键的.综合介绍了声表面波(SAW)振荡器法、混频检测法、锁相环(PLL)环路检测法、DDS扫描检测法和相位检测法应用于延迟线型声表面波传感器匹配电路的研究进展,包括检测电路的设计组成、优化过程和传感器的稳定性分析.概括总结了基于混频检测法的声表面波传感器系统的一些应用,分析展望了延迟线型声表面波传感器匹配电路的发展趋势.