双阴极等离子溅射金刚石显微结构研究

摘要

目前，关于SYJ金刚石的微观结构的研究还不充分，针对其镀层的研究对镀覆金刚石的应用具有较强的指导意义，在此基础上，本文分析了SYJ金刚石的表面形貌、镀层结构、晶粒大小及组织致密性。结果表明，双阴极等离子体溅射镀铬金刚石表层形成了厚度约为500nm的柱状结构镀层，镀层晶粒尺寸约为10nm。镀层主要有纯铬组成，仅在结合面附近存在少量铬的碳化物，具有十分致密的结构且表面起伏大。