硅漂移探测器(SDD)的制作及表征

摘要

从1983年开始研发的硅漂移探测器(SDD)已逐渐取代传统的Si-PIN,广泛应用于X射线光谱仪中.X射线光谱仪在深空探测方面有非常重要的应用,例如2012年8月6日在火星表面着陆的美国"好奇"号火星车就搭载了阿尔法粒子X射线光谱仪.本文对在北京师范大学新器件实验室(NDL)半导体器件工艺研制线上制作的有源区面积5.77mm2的SDD进行了介绍.该SDD室温下的收集阳极漏电流约300pA,-30°C时可小到60pA.从电势分布分析,SDD形成了良好的漂移电场.利用北京滨松光子技术股份有限公司研制的ASIC前置放大器电路,测量到55Fe放射源5.9keV的谱峰,其能量分辨率达到13％.