Al-Al2O3-Au 场发射阴极的制备及电子发射特性研究

摘要

文本采用磁控溅射和电化学氧化法制备出了Al-Al2O3-Au结构的MIM阴极。首次采用酒石酸铵和乙二醇混合溶液作为电解质，通过电化学阳极氧化制备了Al-Al2O3-Au阴极中的绝缘层。并对氧化前后的Al膜进行了X射线衍射(XRD)测试，发现氧化Al膜为非晶态，这与SEM结果一致。实验还在1×10-3Pa下对MIM阴极的电子发射性能进行了研究，电子发射的开启电压为8.1V，发射电流密度随着偏置电压的增大而增加，峰值为4.75μm/cm2,最大电子发射效率为0.38%。，F-N特征曲线呈线性规律。本文的研究内容对制备基于MIM型的场发射器件具有一定的借鉴意义。