单晶炉热场设计与优化

摘要

Cz法仍然是当今生长单晶硅的主要方法，而热场是其核心组成部件之一。保温性能、长晶速率及晶体质量是衡量热场结构优劣的主要指标。作者借助于计算机仿真技术，对现有热场结构进行了模拟分析和优化。通过对加热器、热屏及保温材料结构、性能的分析，得出以下结论：加热器结构优化后，可改善熔体中的温度分布，降低与石英坩埚接触的熔体温度，从而减少了石英坩埚与熔体反应导入到熔体中的氧含量;热屏和保温材料结构优化后，增强了热场中纵向温度梯度，使得拉晶速度提高20％以上;同时增强了热场的保温效果，功耗可降低30％以上。