低压化学气相沉积(LPCVD)系统用DEZ的分析

摘要

本文主要针对科利德公司自主生产的DEZ产品，以电感耦舍等离子体质谱仪(ICP-MS)主要分析仪器，通过对样品的特殊氧化溶解处理得到适用于分析仪器使用的样品，建立了完善的金属杂质分析检测方法。通过与进口产品数据进行比较，发现两者之间水平相当，从而保证为薄膜太阳能生产客户提供合格的DEZ产品。