有孔微梁谐振器中的压膜阻尼

摘要

微梁谐振器是microelectromechanical systems(MEMS)中较为常用一种谐振器.微梁在振动的过程中,梁和基底间的气体由于粘性作用产生的压膜阻尼会显著影响系统的动态响应特性,因此可采用在结构上打孔来减小压膜阻尼.本文基于修正雷诺方程和梁的振动理论,给出了两端固支有孔微梁的控制方程.通过求解控制方程,得到了压膜阻尼对梁振动特性的影响,可以为器件的设计提供参考.