曲率半径法测量薄膜应力研究

摘要

微机械薄膜应力对MEMS器件的性能有较大影响,开展薄膜应力的广泛研究是必须的.针对微型薄膜传感器的薄膜应力的产生、基片曲率半径测量方法和影响因素进行研究,并且研究薄膜应力在曲率半径测量方法条件下与基底材料和成膜材料厚度特性之间的误差曲线关系,总结针对微型薄膜传感器的薄膜应力的测量和控制方法,提供微型传感器的器件结构和微细加工工艺设计依据.