光学元件大曲率半径的比较法测量方法及其测量装置

摘要

本发明提出了一种光学元件大曲率半径的比较法测量方法及其测量装置，测量装置包括平面激光束发射器、分束镜、透镜、平面反射镜、成像系统和已知标准曲面曲率半径的标准镜，分束镜位于激光束发射器发射的平行激光光路中，分束镜法线方向与激光束成45°角；平面反射镜位于分束镜反射光路中，平面反射镜法线方向与分束镜反射光传播方向逆向平行；透镜位于分束镜的透射光路中，透镜光轴与激光束平行；成像系统位于平面反射镜相对于分束镜中心点的对侧；标准镜位于透镜形成的球面波激光束光路中，其曲面球心可调至与透镜焦点重合。本发明能在有限空间内准确、有效测量大曲率光学元件曲率半径，准确度高，方法简单，易于实现。