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激光辐照制备高介电常数Ta<,2>O<,5>陶瓷

摘要

采用大功率CO<,2>激光辐照制备高介电常数Ta<,2>O<,5>陶瓷,讨论了激光制备工艺参数如激光光束模式、功率密度、扫描速率、辐照时间、辐照方式等对制备材料介电性能和组织形貌的影响,分析了其作用机理.

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