采用功率连续调控的激光制备高介电常数Ta₂O₅基陶瓷的方法

摘要

一种采用功率连续调控的激光制备高介电常数Ta₂O₅基陶瓷的方法，属于陶瓷材料制备领域。其特征在于，它包括以下步骤：采用大功率激光作为直接辐照源原位或扫描辐照Ta₂O₅基陶瓷坯体，在10～60s的时间内将激光功率密度从初值20～40w/cm²连续提高到烧结功率密度值640～1062w/cm²，开始烧结；经过3～60s的烧结后，在10～60s的时间内连续降低激光功率密度至初值；激光关光，样品冷却成瓷。本发明制备的Ta₂O₅基陶瓷介电常数显著提高，介电损耗小，制备时间短，过程易于控制，工艺重复性高，可实现无污染烧结，制备样品的纯度高。