激光辐照改变Ta_2O_5陶瓷的介电性能

摘要

采用大功率CO2激光辐照技术,进行Ta2O5陶瓷介电性能的改性研究。对辐照前后陶瓷试样的介电性能进行了温度和频率特性的比较,通过X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)分析,探讨了其介电性能改变的微观机理。经400～1000W的大功率激光辐照处理后,Ta2O5陶瓷的介电常数提高了近1倍(κ>60),同时保持了良好的热稳定性(TCκ<10-3/℃)。