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大口径镀膜机均匀性的研究

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对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.

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来源
《第五届中国功能材料及其学术会议》|2004年|3216-3220|共5页
会议地点秦皇岛
作者
董磊; 方明; 易葵; 范瑞瑛; 邵建达; 范正修;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国金属学会;

中国稀土学会;

中国复合材料学会;

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空镀膜;薄膜物理学;
关键词
薄膜; 均匀性; 修正挡板; 蒸发源; 镀膜机; 膜厚度;

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