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电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条

摘要

本实用新型公开了电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条,属于电子束蒸发真空镀膜机技术领域。电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条,包括挡板主体和修正条主体,所述修正条主体的外壁开凿有滑槽,所述挡板主体上开凿有与滑槽相对应的第二凹孔,所述第二凹孔与滑槽内连接有第一固定螺栓,所述第一固定螺栓上连接有固定螺母,所述挡板主体的底部还连接有横杆,所述横杆的外壁连接有竖杆,所述竖杆与横杆之间连接有支撑杆,所述竖杆的外壁还滑动连接有固定块;本实用新型在均匀性挡板未能合理遮蔽某个伞位的蒸发厚度时,可灵活调节修正条移动,达到遮蔽某个伞位的膜层厚度的目的,使之均匀性误差更加缩小,增加变化的稳定性。

著录项

  • 公开/公告号CN210796607U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2020-06-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市乐苏科技有限公司;

    申请/专利号CN201921552357.5

  • 发明设计人 张云生;

    申请日2019-09-18

  • 分类号

  • 代理机构深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人钟斌

  • 地址 518101 广东省深圳市宝安区石岩街道水田社区三民工业园厂房A栋四层

  • 入库时间 2022-08-22 14:41:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-19

    授权

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