SPICE中MEMS器件与电路系统的混合模拟方法

摘要

现今SPICE软件单元模型库中还未集成MEMS器件的宏模型,因此对于同时具有多个MEMS器件和处理电路的系统在描述上缺乏一致性,增加了系统级模拟的难度.本文针对因MEMS器件在系统中的特殊性而导致的对系统级模拟的复杂性,提出了SPICE中MEMS器件与电路的系统混合模拟方法,将MEMS器件宏模型嵌入到SPICE单元库中,供系统级模拟时调用,实现MEMS器件和电路的混合模拟.文中以梳状谐振器为例,介绍了MEMS器件宏模型建立的过程,对谐振器进行了宏模型描述,通过结果分析说明了MEMS器件与电路系统混合模拟的过程.