PET基ITO膜的制备与形貌分析

摘要

本文尝试使用射频磁控溅射法制备了PET基ITO膜.ITO靶成分:In<,2>O<,3>:SnO<,2>=90:10(WT％),采用氩气和氧气为载体气体,经过前期实验结果分析最佳靶距为6厘米.固定其他因素分析改变压力、时间、功率、考察了上述因素对表面形貌的影响.