低温退火工艺对柔性基上ITO膜透光率的影响

摘要

国内外学者对铟锡氧化物（ＩＴＯ）膜的各种工艺参数进行过广泛的研究，然而对低温退火提高ＩＴＯ膜的透光性还未见报道。文章在研究了低温退火工艺对柔性基上真空蒸镀ＩＴＯ膜的透光率的影响后，进一步分析了影响透光率的工艺参数。