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X—射线衍射非对称摇摆曲线法测定薄膜的晶格常数

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摘要

本文介绍了X—射线衍射非对称摇摆曲线技术,该技术是测定薄膜在生长平面内的晶格常数的有效方法.作为一个例子,我们用X—射线衍射非对称摇摆曲线技术研究了激光分子束外延生长的钙钛矿氧化物BaTiO<,3>薄膜的晶体结构.

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来源
《2002年全国电子测控工程学术年会》|2002年|1517-1520|共4页
会议地点武夷山
作者
崔大复;
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作者单位

中国电子学会;

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;
关键词
X—射线衍射; 非对称摇摆曲线法; 薄膜; 晶格常数; 生长机理;

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