基于微机械工艺的平面电机及其制作

摘要

为提高微电机的输出力矩,增加微电机散热能力和电流密度,提高电机工作效率,本文设计了一种具有双转子结构的平面微电机.两个转子对称分布于定子两侧.转子采用永磁体进行轴向充磁.定子采用平面线圈,线圈之间采用了三相星形连接方式,采用平面型、无槽、集中绕组.是采用微机械的硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的.把制作好的定子和转子装配后通以三相方波电流进行驱动,结果证明电机运转良好.