室温发光硅基法布里——珀罗微腔的结构设计

摘要

提出了一种新型法布里-珀罗(F-P)微腔结构,它采用PDECVD方法制备的硅/氮氧化硅结构作为微腔中的布拉格反射器,非晶碳化硅薄膜作为中间光发射层,通过以一维方向光子的限制,使发光层荧光强度增强,谱线变窄,通过调节发光层和反射器膜厚及折射率,可以精确控制发光峰位.因此,该结构可望实现全硅基材料的强室温蓝光发射.