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射频微平面电感设计及工艺研究

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摘要

本文对影响电感Q值的几何参数进行了分析,给出了相应的曲线,提出了平面螺旋结构硅微电感的优化设计方法.设计了应用于微波通讯系统的平面电感,通过工艺实验得到器件,验证了工艺的可靠性,初步的测量值同理论值一致.

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来源
《第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议》|2001年|588-591|共4页
会议地点昆明
作者
丁勇; 刘泽文; 刘理天; 李志坚;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电感器、线圈、扼流圈;
关键词
电感; 平面螺旋结构; Q值; 优化设计;

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