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刘志凯; 廖梅勇; 姚振钰; 柴春林; 杨少延; 王占国;
中国仪器仪表学会;
类金刚石薄膜; 质量分离离子束沉积; 表面形貌; 薄膜技术;
机译:通过质量分离的低能离子束沉积制备的氮化碳膜的结构
机译:离子束沉积制备的类金刚石薄膜覆盖的钨尖端发射器的电子的场发射能量分布
机译:通过现场发射极阵列发射的低能量电子通过空间电荷中和抑制低能量离子束的发散
机译:低能量,质量分离离子束沉积和反应离子束刻蚀的研究
机译:提高离开四极离子的离子束的质量指南
机译:低能siC2H6 +和siC3H9 +离子束通过大量选择由六甲基二硅烷制备的片段制备siC薄膜
机译:利用低能离子束制备光学元件
机译:离子束质量分离过滤器,其质量分离方法和使用该离子束质量分离器的离子源
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