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掺硅水平砷化镓单晶的产业化

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本文阐述了光电子材料掺硅水平砷化镓单晶的产业化过程,并就设备、工艺上的一些问题进行了讨论.获得了一些有益的结果.本文提出了评价产业化结果的四个量化指标,供大家参考.

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来源
《第四届中国功能材料及其应用学术会议》|2001年|746-747755|共3页
会议地点厦门
作者
武壮文;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料和工作物质;
关键词
HB-GaAs; 产业化; 工艺技术; 光电子材料;

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