脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜的电阻分布

摘要

对准分子激光蒸发石墨靶淀积的碳素薄膜的电阻分布研究表明在１ｃｍ的范围内电阻相差１０〈’８〉倍。把这个结果与对激光等离子体诊断的结果比较表明高电阻的类金刚石薄膜是由等离子体中高速膨胀的部分淀积的。而低电阻碳素薄膜则是由等离子体中的低速部分淀积。