脉冲放电沉积制备类金刚石薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种脉冲放电沉积制备类金刚石薄膜的方法，属于金属或非金属表面改性处理的技术领域。该方法采用以石墨为阴极电极的脉冲电弧放电和分解离化碳氢化合物气体的混合物理化学气相沉积法在工件表面进行DLC沉积，主要操作步骤是：超声波清洗、抽真空、离子清洗、DLC沉积，所述离子清洗中通入氩气，DLC沉积中电弧放电脉冲频率为5～35Hz，电压为200～400V，通入碳氢化合物气体优选甲烷、乙烷或丙烷。本发明通过特殊脉冲电弧放电，形成高速、高能量的碳等离子束对通入的碳氢化合物气体分子产生碰撞分解离化，增加碳离子密度，增强绕射性，从而提高DLC沉积速度，增加其附着力，减少内应力，提高其精度和性能。