矩形槽栅横向功率MOSTET(RLMOS)

摘要

该文在国际上首次提出了一种RLMOS器件新结构,与传统LDMOS相比较,RLMOS的沟道电阻R〈,ch〉降低一倍或一倍以上,并具有单元尺寸小,和C〈,gd〉反馈电容小等优点。

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