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陈伟;
中国材料研究学会;
薄膜;
机译:低温高频溅射沉积纳米晶硅薄膜
机译:通过单复合磁控溅射沉积法制造的非晶硅碳化硅薄膜的电阻切换行为
机译:非平衡磁控溅射法沉积碳化硅薄膜
机译:磁控共溅射沉积非晶碳化硅薄膜:施加功率和沉积压力对薄膜特性的影响
机译:使用非传统空心阴极溅射技术生长和表征碳化硅薄膜。
机译:通过快速热退火工艺增强氢化非晶碳化硅薄膜的光致发光
机译:直流磁控溅射和大功率脉冲磁控溅射在碳化硼涂层上的低温生长
机译:反应离子束溅射制备碳化硅薄膜。
机译:碳化硅薄膜的生产方式以及碳化硅薄膜和硅
机译:使用初始支撑物制造复合SiCOI基板的方法,该支撑物支撑二氧化硅层,该二氧化硅层承载着碳化硅薄膜和外延生长的碳化硅薄膜,用于生产半导体器件
机译:单晶碳化硅薄膜和单晶碳化硅薄膜的生产
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