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MEMS微型磁性开关介绍

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本文介绍了MEMS微型磁性开关的原理和制作工艺,其中分别具体介绍了MEMS磁性开关阵列以及磁保持MEMS开关.并且对开关的灵敏度及应用做了相关的介绍和说明.最后对MEMS开关的应用前景进行了展望.

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来源
《2013中国科学院电磁场前沿学术论坛》|2013年|64-67|共4页
会议地点北京
作者
Pan Jie; 潘杰; Qin Zheng; 秦征; Liu Bo; 刘博; Qiu De-long; 邱德龙; Wang Hai-feng; 王海峰;
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作者单位

中国科学院电工研究院工程电磁场及应用技术研究部;

中国科学院大学电子电气与通信工程学院;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类各种开关;
关键词
磁性开关; 传感器; 工艺流程; 性能表征;
入库时间 2022-08-17 10:46:13

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