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基于MEMS技术的微型磁性开关阵列

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摘要

为了在二维微驱动系统中实时检出磁性移动块的存在位置,提出并试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列,它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作.对该传感器的工作原理、制做工艺做了详细的描述,并给出了一些实验结果.

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来源
《传感器与微系统》 |2000年第5期|24-26|共3页
作者
李德胜; 张鹏飞; 藤田博之;
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作者单位

哈尔滨工业大学,自动化测试与控制系,黑龙江,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,自动化测试与控制系,黑龙江,哈尔滨,150001;

日本国东京大学,生产技术研究所,106-8558;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP211+.53;
关键词
微机械; 传感器; 传感器阵列; 开关; 磁场;

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