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热激活载流子对氮极性极化诱导p型AlGaN导电特性的影响

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摘要

极化诱导掺杂为宽禁带半导体的掺杂提供了一个全新的解决方案.但是,实验中极化诱导p型AlGaN的空穴浓度与理论预测常常有一定的偏差.本实验中,首先利用MOCVD系统实现了AlGaN薄膜的极化诱导p型掺杂.之后通过对变温hall数据的拟合,研究了热激活载流子对极化诱导p型AlGaN导电的影响.

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来源
《第二届全国宽禁带半导体学术会议》||112-113|共2页
会议地点西宁
作者
闫龙; 宋俊峰; 张源涛;
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作者单位

中国电子学会;

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
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中图分类
关键词
宽禁带半导体; 氮化铝镓; 金属有机化合物化学气相沉积; 极化诱导p型掺杂; 热激活载流子; 导电特性;

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