添加剂元素掺杂AZO薄膜的性能和制备综述

摘要

随着AZO薄膜的发展,近年来国内外一些研究者开展了许多针对添加剂元素掺杂AZO薄膜的研究,并发现其一些性能优于AZO薄膜,特别是光电性能方面,这些发现使得AZO薄膜在光电领域更有发展潜力.本文重点从元素掺杂影响的透光机制归纳了添加剂元素掺杂AZO薄膜的光学性能研究,其结果是掺杂元素之间会产生相互协同影响,使得添加剂元素掺杂AZO薄膜散射中心减少,从而具有更好的透光性;同时对添加剂元素掺杂AZO薄膜的电学性能研究也做了归纳,结果是不同元素掺杂的薄膜,对导电性能起促进和抑制作用都存在,并阐述了这些方面的研究现状.文中对目前所报道的脉冲激光法、溶胶-凝胶法,喷雾热解法和磁控溅射法四种主要制备添加剂元素掺杂AZO薄膜的技术以及它们各自的优缺点进行了介绍,另外对应阐述了各制备技术制备的添加剂元素掺杂AZO薄膜的研究现状,结果显示:四种方法对制备添加剂元素掺杂AZO薄膜都有较好的数据结果,目前最好的是磁控溅射法制备的薄膜.最后展望了添加剂元素掺杂AZO薄膜的未来发展与研究趋势.